等離子體微型光譜儀要是線(xiàn)狀譜和連續譜。線(xiàn)狀譜是等離子體中的中性原子、離子等由其高能級的激發(fā)態(tài)躍遷到較低能級時(shí)所產(chǎn)生的，單個(gè)粒子發(fā)射的譜線(xiàn)強度主要決定于:①原子或離子的外層電子處于上能級的幾率,②這種電子從上能級躍遷到下能級的躍遷幾率，③光子在逸出等離子體之前被再吸收的幾率。但微型光譜儀的譜線(xiàn)的總強度與電子和離子的密度和溫度有關(guān)，每條譜線(xiàn)有它自己的強度分布規律,因此從譜線(xiàn)強度的測量,結合理論模型和上述光譜中的原子數據，可以得到電子、離子的密度、溫度等信息。根據多普勒效應，從微型光譜儀的譜線(xiàn)波長(cháng)的移動(dòng)可確定等離子體的宏觀(guān)運動(dòng)速度。連續譜是電子在其他粒子的勢場(chǎng)中被加速或減速而產(chǎn)生的。從連續光譜強度的測量，也可得到電子密度、溫度等數據。

　　

　　測量等離子體的輻射，如譜線(xiàn)強度、譜線(xiàn)輪廓以及譜線(xiàn)的分裂、位移等后，就可以得到等離子體的一些參量，如等離子體成分、溫度、密度等。這方面的工作構成等離子體微型光譜儀，是等離子體診斷學(xué)的一個(gè)重要組成部分。